出展者プレゼンテーション

プレゼンID
大阪1-11
時 間
11月15日(火) 13:45-14:00

カネキタ株式会社

取締役工場長 山本 努

プレゼンテーションのテーマ

「次世代半導体の製造に使用されるステンレス鋼製品の表面処理技術」

プレゼンテーションの概要

次世代半導体の微細化に対応する半導体製造装置に組み込まれる流体制御装置のステンレス鋼部品の表面処理、特に不動態化処理法の開発を図る。
高品位半導体製造ガスラインで要求される規格に対応できる表面処理(不動態化処理)を施した超精密金属切削部品開発についての試作結果であり、また、これは実際のニーズに基づく開発案件で不動態化処理層における良質な酸化膜の生成にかかる諸課題の解消を図るための諸テストを通して、ステンレス鋼の清浄性を保ち、且つ耐食を向上させることを目的とした試作開発案件に関する発表。